远程等离子体源

Xstream

高品质,室清洁远程等离子体源与无与伦比的性能

Xstream远程等离子体源(RPS)是室内清洁的理想选择。它具有专利的点火方法和算法以及专有的铝合金硬阳极氧化室。

  • 经过验证的性能:经过验证的现场表现,无与伦比的可靠性
  • 独特的点火方法:用可靠的等离子体点火减少工具停机时间
  • 不需要昂贵的涂料:定制合金和先进的阳极氧化,确保更长的腔体寿命
  • 快速腔室清洁:高原料气离解率,高效运行
  • 概述
  • 技术规格
  • 文档
  • 服务与支持

概述

高效的XSTREAM®RPS能分解大量的NF3.快速清洁腔室,提高整体工具性能。它的等离子室展示了高纯铝合金和专利冷却能力。Xstream RPS可在无需维修或昂贵的腔室涂层的情况下使用多年,是可靠性和高效性能的明智选择。

好处

  • 消除具有定制铝合金的昂贵的腔室涂层和III型硬阳极氧化
  • 通过冷却系统,最大限度地减少热应力,提高燃烧室的性能和耐久性
  • 利用有源匹配网络提高效率和提高等离子体的功率传递
  • 通过实时等离子体测量精确控制能量和过程
  • 通过专利点火系统实现可靠和可重复的等离子点火

特性

  • 高度可靠的RPS最大化了工具的正常运行时间
  • 有效的反应性物种运输处理室,提高性能
  • 集成有源匹配网络的变压器耦合等离子体(TCP)源
  • 工作频率为225千赫至660千赫
  • 8 kW / 10 kW电源型号
  • 大小

    H x W x D:26.7厘米x 25.25厘米x 47.8厘米
    H x W x D:10.5“x 9.94”x 18.82“

  • 重量

    28.7公斤(63.2磅)

  • 交流线频率

    公称50至60赫兹;47至63赫兹范围

  • 交流输入电流

    • 31 AMPS标称/ 35放大器每相对于10 kW版本最大
    • 8千瓦版本的额定功率为28安培/每相最大31安培
  • 功率精度

    +/- 5%或+/- 200 W,以较大
    (在等效等离子体阻抗1.2欧姆时测量)

  • 电效率

    >满额定功率和标称线路时80%

  • 功率因数

    > 0.90

全球支持与服务

通过每个产品生命周期阶段,从启动到长期运行,通过每个产品生命周期阶段最大化Fab生产力和资本设备ROI。我们的服务产品基于三十多年的精密电力和应用专业知识。

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应用支持与咨询

加速工具安装和工艺开发计划,或与先进能源的专门应用顾问和工程人员解决特定应用问题。188滚球地址从现场审查、分析和咨询中获益。

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保证

降低维护成本的可变性,并提供额外的成本保护。188滚球地址Advanced Energy提供全箱延长保修期。

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产品支持

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美国:+1 800 446 9167
亚洲:+86 29 8874 1895
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比较产品

模型

Xstream远程等离子体源

Xstream 8千瓦

Xstream远程等离子体源

Xstream 10千瓦

点火

0.1到4.0 Torr, < 1 slm Ar

0.1到4.0 Torr, < 1 slm Ar

手术

0.5至12.0 Torr,最高可达6 slm NF3.

0.5至15.0 Torr,最高可达8 slm NF3.

离解

≥98%

≥98%

专有的铝合金

专有的铝合金

o型环

Chemraz®

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