远程等离子体源

快牛

氧基工艺的理想远程等离子体源

Advanced Energy的Rapid OX具有独特的用户可插入和可移动石英腔体衬垫,是氧气工艺的最佳选择。188滚球地址

  • 光刻胶灰化/碳室清洁的理想选择:石英衬垫可减少氧的复合,并确保将活性物质有效输送至工艺室
  • 完美的表现:6 kW功率,用于解离氧气,具有变频和功率控制
  • 可靠的设计:与全石英腔室相比,腔室和可拆卸插入设计提供了更好的可靠性
  • 概述
  • 技术规格
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  • 服务与支持
  • 分销商

概述

由于Rapid OX的可拆卸石英衬垫,减少复合效应并延长氧自由基的寿命。与阳极氧化室相比,产生的反应物质延长了寿命,提高了光刻胶剥离率。由于石英衬垫易于安装或拆除,因此减少了停机时间,显著降低了成本这大大降低了更换成本。

利益

  • 通过一个可拆卸和可更换的石英腔室,显著减少停机时间和拥有成本
  • 由于高解离率和高密度自由基生成,提高了工艺性能
  • 通过变频调谐和精确功率控制确保可重复、可控的过程
  • 由于采用了可靠的设计和冷却系统,提高了燃烧室的使用寿命并降低了维修成本
  • 提高工具利用率,减少预防性维护,降低CoO

特征

  • 石英衬垫使其成为光刻胶灰化或碳室清洁工艺的理想选择
  • 变频匹配提供一系列等离子体阻抗操作,由不同的气体化学、压力和功率设定点控制
  • 改进的热管理有助于确保长腔室寿命
  • 由于低动态压力超调,Rapid OX快速点火并达到稳态运行
  • 等离子体功率范围

    500至6000瓦
    电源阻抗范围内的功率均衡能力

  • 处理应用程序

    用于下游腔室清洁、反应蚀刻工艺和反应沉积工艺的气体远程输送

  • 点火装置

    100 mTorr至1 Torr的氧气和氮气,最高可达4 slm(90%O2.10%氮2.)

  • 化学相容性

    该装置拟与选定气体(如Ar、O)一起使用2.H2.N2.F2.H2.O、 核因子3.,或2.

  • 操作流量、稀释度和压力范围

    • 经验证的装置操作流量范围为0.2至4 slm纯O2.,及2.含10%N2.在100毫托和4托之间
    • 允许使用其他气体压力/流量组合,但必须在使用前获得Advanced Energy的批准188滚球地址
  • 大小

    高x宽x高:35.3厘米x 41.5厘米x 39.2厘米
    高x宽x高:14英寸x 16.5英寸x 15.5英寸

  • 重量

    37.6千克(83磅)

  • 射频频率

    250至665千赫

  • 功率精度

    在等离子体负载+/-5%或200 W时参考,以较大者为准

  • 运行负荷限制

    操作负载需要在以下操作限制范围内:

    最小功率

    500瓦

    最大功率

    6000瓦

    最大等离子体电压

    325伏rms

    最小等离子体电流

    5 Arms

    最大一次电流

    120 Arms

数据表

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