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用先进的能源远程等离子体源清洗室188滚球地址
在这个视频中，了解如何先进能源的MAXstream188滚球地址远程等离子体源(RPS)用于CVD室清洁。MAXstream扩大了AE在工艺功率方面的领先地位，在大范围的流量范围内提供可靠的性能，提高了半导体工艺设备的生产率。
远程等离子体源
MAXstream
可靠，高性能远程等离子体源室清洁应用
188滚球地址先进能源公司的MAXstream系列是下一代远程等离子体室清洁源。MAXstream RPS具有3 - 12标准升/分钟(SLPM)的流量能力和行业领先的功率精度，为腔室清洁提供了一个紧凑的解决方案，并与AE验证的RPS可靠性，长寿命无故障操作。
- 高可靠的等离子清洗系统，无故障运行
- 专有的高纯铝基材，采用3型阳极氧化处理，使用寿命更长
- 独特的双点火核心设计，确保几乎100%的点火可靠性
- 业界领先的2%功率精度，提供一致、可重复的性能
- 概述
- 技术规格
- 文档
- 服务与支持
- 分销商
概述
188滚球地址先进能源的MAXstreamTMLine是下一代远程等离子体室清洁源。MAXstream提供3、6、8、10和12 SLPM NF3.流量率优化价格和性能，并提供了高达60%的功率精度比传统使用的系统。
AE带来了经过验证和差异化的等离子体源材料和技术，确保长腔寿命和低粒子生成。独特的双点火核心设计提供了一流的等离子点火可靠性。MAXstream RPS具有可靠的、每次触发点火，为RPS维护提供更一致的操作和更少的停机时间。
MAXstream RPS简化了与传统RPS系统的下入兼容性，简化了设计兼容性，并实现了现场无缝升级，成为一种新的可靠和可重复的解决方案。
好处
- 让客户通过多个流程选项优化成本
- 以比Xstream RPS更小的占地面积节省宝贵的工具空间
- 独特的AE双点火芯，几乎实现100%的点火可靠性
- 采用AE专有的高纯度铝基板，采用3型阳极氧化处理，延长腔室寿命
- 最高可达12 SLPM流动能力，减少清洗时间
特性
- 五种型号:MAXstream 300用于低流量应用和MAXstream 600, 800, 1000, 1200用于高流量应用
- 高度可靠的RPS最大化了工具的正常运行时间
- 与传统RPS设备配合使用，可轻松升级设计，提高性能和可靠性
- 增强等离子体源壁冷却，减少热膨胀和化学侵蚀造成的损害
- 等离子体功率的主动监测和控制，实现行业领先的功率精度
等离子体功率范围
300至12,000 W，连续
点火
MAXstream 300
100mtorr至4torr至2slm的Ar, NF中毒<1%3.
MAXstream 600, 800, 1000, 1200
100mtorr至4torr的氩气高达1 SLPM
功率精度
±2%或15w，以较大者为准
流量范围
MAXstream 300
在10torr时达到3 SLPM
MAXstream 600, 800, 1000, 1200
高达12 SLM在30托
输入电压
MAXstream 300
187 ~ 229 VAC，无中性点，3相带PE接地(相位不敏感)
MAXstream 600, 800, 1000, 1200
200 to 208 VAC±10% (180 to 229 VAC)，无中性，3相带PE接地(相位不敏感)
全球支持与服务
在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段，提供世界级的支持，最大限度地提高工厂生产力和资本设备投资回报率。我们的服务是基于超过30年的精密电源和应用专业知识。
应用支持与咨询
加速工具安装和工艺开发计划，或与先进能源的专门应用顾问和工程人员解决特定应用问题。188滚球地址从现场审查、分析和咨询中获益。
保证
降低维护成本的可变性，并提供额外的成本保护。188滚球地址Advanced Energy提供全箱延长保修期。
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比较产品
模型
MAXstream 300
MAXStream 600, 800, 1000, 1200
300 ~ 6000w
500 ~ 12,000 W
±2%或15w，以较大者为准
±2%或15w，以较大者为准
在10torr时达到3 SLPM
在30torr时达到12slpm
100 mTorr至4 Torr至2 SLPM
100mtorr至4torr的氩气高达1 SLPM
尺寸(宽x高x深)
尺寸(宽x高x高)