远程等离子体源

Litmas石头剪刀

远程等离子体源和电力输送系统,使废气减少

Litmas是一款一体化的远程等离子电源,将电源、LitmasMatch™匹配网络和等离子室整合到一个紧凑的机箱中。

  • 占地面积小的使用点减少解决方案
  • 高度可靠,有效的消减与最低的公用事业使用
  • 比有竞争力的解决方案拥有更低的成本
  • 概述
  • 技术规格
  • 文档
  • 服务与支持

概述

的Litmas®远程等离子体源(RPS)系统可提供高浓度的反应气体,实现先进的氟化气体减排。其占地面积小、高性能、易于使用和拥有成本低的解决方案使其成为新安装或改造现有系统的明智选择。

好处

  • 产生高反应剂通量,提供更高的破坏效率
  • 满足监管或绿色倡议目标的蚀刻气体减排解决方案
  • 通过减少沉积过程中的颗粒,增加泵的使用寿命
  • 提供快速匹配,稳定的功率传输,精确的过程控制
  • 包括一个占地面积小的软件包,易于安装在现有或新的生产地点

特性

  • 消除温室气体排放
  • 提供最高可用等离子体功率密度
  • 使用耐用的SiO2或Al2O3腔体材料
  • 采用专利LitmasMatch™固态电源传输拓扑
  • 集成电源,火柴,等离子室在一个包
  • 功率输出拓扑

    专利LitmasMatch™固态电源传输拓扑,快速匹配(< 3ms)

  • 室的材料

    低复合SiO2或Al2O3腔体材料

  • 接口

    • 内置模拟,RS-232,和可选DeviceNet®功能
    • 监视、接口和数据记录选项
    • 可选虚拟前面板(VFP)软件接口包直观,实时控制

规格如有更改,恕不另行通知。并不是所有的选项和配件都可用于所有型号和配置。所列尺寸一般只参考标准配置和模块主体。请与销售代表确认技术规格和定制。188滚球地址先进能源不负责错误或遗漏。

全球支持与服务

在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段,提供世界级的支持,最大限度地提高工厂生产力和资本设备投资回报率。我们的服务是基于超过30年的精密电源和应用专业知识。

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应用支持与咨询

加速工具安装和工艺开发计划,或与先进能源的专门应用顾问和工程人员解决特定应用问题。188滚球地址从现场审查、分析和咨询中获益。

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保证

降低维护成本的可变性,并提供额外的成本保护。188滚球地址Advanced Energy提供全箱延长保修期。

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产品支持

调用
美国:+1 800 446 9167
亚洲:+86 29 8874 1895
中国:400 8899 130
EMEA:+44 800 032 1546
英国:08000 321 546


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薄膜的支持
热产品支持
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比较产品

模型

Litmas远程电源

lb - 3001

Litmas远程电源

lb - 4001

等离子体功率范围

100至3000w

100至4000 W

输入电压

180至229 VAC, 3相

180至229 VAC, 3相

输入电流

每相最大16 A

每相最大20 A

冷却水流量

5.7升/分钟(1.5加仑/分钟)

5.7升/分钟(1.5加仑/分钟)

尺寸:348 x 277 x 264 mm

尺寸:348 x 277 x 264 mm

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