188.博金宝

高功率密度,安装紧凑

当空间有限,但性能至关重要时,流线型Apex射频发生器可提供各种安装选项和您可以依赖的电源。

  • 腔室、机架或机架安装选件,方便快捷,降低功耗
  • arc管理增强了卓越的性能
  • 13.56 MHz频率下的1.5至10 kW输出功率选项
  • 概述
  • 技术规格
  • 文件
  • 服务与支持

概述

多才多艺的顶点®射频发生器和电源传输系统系列展示了适用于腔室安装的紧凑、模块化设计。利用先进的射频转换技术,Apex射频发生器和电源传输系统提供了增强的产品和工艺可靠性。高密度电源功能使其成为先进等离子体工艺的理想选择。各种通信模型和可配置功能允许您自定义平台并探索集成方法。无需定制发电机交付周期。

利益

  • 易于集成具有增强灵活性的流程工具
  • 稳定等离子体操作
  • 提高成品率,实现快速电弧管理
  • 根据您的流程要求轻松定制和配置

特征

  • 高功率密度 流线型设计 
  • 车载腔室安装、工具架安装、机架安装和鞋盒选件 
  • 宽带控制回路
  • 可选脉冲控制
  • 高速电弧管理
  • 功率级

    1.5、3和5.5千瓦

  • 频率

    13兆赫

  • 可用接口

    RS-232,25针模拟,以太网,DeviceNet

  • 交流输入

    208伏交流电

  • 线路频率

    50/60赫兹

  • 冷却

  • 环境空气温度范围

    +5至+40°C

  • 冷却水温度范围

    +5至+35°C

  • 高级功能

    脉冲

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都提供所有选件和附件。所列尺寸通常仅指标准配置和模块体。请与销售代表确认技术规格和定制。188滚球地址Advanced Energy不对错误或遗漏负责。

全球支持与服务

188滚球地址Advanced Energy定期校准射频发生器和火柴。请相信我们的专家,让您的精确射频传感器保持在规格范围内,并确保您的工具以其最高潜力运行。

了解更多

应用支持与咨询

加快工具安装和工艺开发计划,或与Advanced Energy的专业应用顾问和工程人员一起解决特定应用问题。从现场审查、分析和咨询中获益。188滚球地址

了解更多

保证书

降低维护成本的可变性,并提供额外的成本保护。Advanced Energy提供全盒延长保修。188滚球地址

了解更多

产品支持

呼叫
美国:+1 800 446 9167
亚洲:+86 29 8874 1895
中国:400 8899 130
欧洲、中东和非洲:+44 800 032 1546
英国:08000 321 546


电子邮件
薄膜支架
热产品支持
其他技术支持

联系我们

非常感谢。

您现在可以查看Advanced Energy网站上的任何资源。单击下面的按188滚球地址钮查看您请求的资源。

非常感谢。

您现在可以查看Advanced Energy网站上的任何资源。单击下面的按188滚球地址钮查看您请求的资源。

Baidu