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领航员II

快速、准确、可靠的数字调谐匹配

导航所有匹配网络的先进数字技术加快了调谐和匹配响应时间。

  • 领先的射频等离子体方法和控制
  • 先进的脉冲控制,具有脉冲调谐功能
  • 集成Z'Scan II对等离子体的前所未有的洞察
  • 概述
  • 技术规格
  • 文件
  • 服务与支持

概述

导航器®ll配备微处理器控制的步进电机驱动器和先进的调谐算法,实现优化的射频功率。可选的内部Z'扫描®II RF传感器提供对过程功率和阻抗的实时分析,允许您快速识别并显著降低过程可变性。可选的虚拟前面板软件可用于通过用户计算机进行监视和控制。

利益

  • 快速调整并提高比赛响应时间
  • 加强过程控制
  • 提高工具吞吐量和产品产量
  • 提高可靠性和拥有成本
  • 跨各种腔室和流程进行定制

特征

  • 数字架构与基于模型的快速调整算法
  • 脉冲射频功率传输
  • 扫频操作
  • 多频应用中的互调失真(IMD)抗扰度
  • 实时过程功率和阻抗测量
  • 权力

    1至30千瓦

  • 频率

    400千赫至60兆赫

  • 另外

    支持单频和多频,支持ICP和CCP

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都提供所有选件和附件。所列尺寸通常仅指标准配置和模块体。请与销售代表确认技术规格和定制。188滚球地址Advanced Energy不对错误或遗漏负责。

全球支持与服务

188滚球地址先进的能源提供定期校准您的射频发生器和匹配。相信我们的专家,确保您的精密射频传感器在规格范围内,并确保您的工具以最大的潜力运行。

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应用支持与咨询

加快工具安装和工艺开发计划,或与Advanced Energy的专业应用顾问和工程人员一起解决特定应用问题。从现场审查、分析和咨询中获益。188滚球地址

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保证

降低维护成本的可变性,并提供额外的成本保护。Advanced Energy提供全盒延长保修。188滚球地址

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