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导航器二世FCi

敏捷,精确的功率传输,满足高速匹配应用的要求

188滚球地址Advanced Energy的Navigator II FCi能够通过精确的功率传输和调谐实现改进的过程控制。高速匹配网络对关键的、功率敏感的、短时间等离子体工艺步骤进行了优化。传统的更长的步骤和更宽的调谐范围,传统处理基于真空电容的匹配网络,也支持。通过高速调优,Navigator II FCi提供了许多过程控制增强。

  • 缩短等离子体稳定时间
  • 在工艺配方转换之间没有等离子体流失

  • 概述
  • 技术规格
  • 文档
  • 服务与支持

概述

导航器®II FCi是一个独立的、微处理器控制的阻抗匹配网络。结合了由离散固态开关电容器阵列调整的调谐元件,匹配网络是由在更宽的阻抗上实现快速、准确调谐的需求驱动的。与传统匹配项的形式、占用空间和调优范围类似,这些匹配项提供的调优时间在毫秒范围内,而传统匹配网络的典型调优时间为1秒。这种高速匹配技术是经过优化的,适用于关键的、功率敏感的、短时间等离子体工艺步骤,如原子层蚀刻(ALE)。

当配置为全范围调谐时,Navigator FCi可以覆盖与真空电容匹配相同的阻抗空间。固态电路的紧凑性使其能够适应与传统版本类似的占地面积。这种比赛没有移动的机械部件,消除了传统比赛固有的磨损和漂移机制。这使得高可靠性和可重复性在广泛的挑战性和不断变化的等离子体工艺。

好处

  • 在宽阻抗范围内实现快速、准确的调谐
  • 提高可靠性和可重复性
  • 减少电源传输中断和等离子体的“熄灭”
  • 在短的过程步骤中利用技术,例如ALE应用

特性

  • 13.56兆赫
  • 连续波脉冲运算
  • 测量输出的传感器
  • 空气冷却
  • 输出电压

    1200年Vrms最大

    1000vdc最大直流偏置电压

  • 输出电流

    35 RMS最大值

  • 频率

    13.56兆赫

  • 射频电源输入

    最大交付1500w

    最大反射150w

  • 反射功率(匹配自动调谐)

    5 W或< 1%的正向功率,以较大为准

  • 线电压

    24 VDC±10%

  • 线电流

    3.5最大

  • 冷却

    空气

  • 环境工作空气温度范围

    + 5 + 40°C

全球支持与服务

188滚球地址先进的能源提供定期校准您的射频发生器和匹配。相信我们的专家,确保您的精密射频传感器在规格范围内,并确保您的工具以最大的潜力运行。

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应用支持与咨询

加速工具安装和工艺开发计划,或与先进能源的专门应用顾问和工程人员解决特定应用问题。188滚球地址从现场审查、分析和咨询中获益。

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保证

降低维护成本的可变性,并提供额外的成本保护。188滚球地址Advanced Energy提供全箱延长保修期。

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