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电弧偏压Solvix

电弧偏压解决方案,为阴极电弧工艺带来了新的精度和生产率水平

Solvix电源是专为实现先进的高科技涂层而设计的。

  • 使用精密偏压发生器的新涂层功能
  • 行业领先的可靠性,同时为极为动态的ARC过程供电
  • 系统优化可用各种型号
  • 概述
  • 技术规格
  • 文件
  • 服务与支持

概述

强大的电弧放电、目标材料的快速蒸发和高能离子使阴极电弧沉积既强大又潜在不稳定。可在高达400 a的电流水平范围内使用,Solvix®arc电源提供卓越的等离子体电离、离子能量和吞吐量,并具有卓越的功率和过程控制能力。Solvix supplies对薄膜性能进行了更大程度的控制,以获得非常坚硬、致密、耐用的附着薄膜。

利益

  • 减少基板损坏,提高产量
  • 优异的薄膜密度和附着力
  • 经验证的可靠性和高吞吐量
  • 对各种工艺要求的适应性
  • 高效的安装和支持

特征

  • 电流、功率和电压调节模式的范围
  • 柔性体系结构
  • 空气冷却
  • 可配置多个单元以满足高功率要求
  • 高性能DSP稳压器
  • 技术

    脉冲直流偏压和电弧源模型

  • 权力

    弧单位

    60、100、210和400 A

    偏压单位

    3到30 kW

  • 频率

    弧单位

    高达200赫兹

    偏压单位

    高达350 kHz(偏置)

  • 另外

    冷却

    空气

    表达

    模拟(RS-232/485和Profibus可用)

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都提供所有选件和附件。所列尺寸通常仅指标准配置和模块体。请与销售代表确认技术规格和定制。188滚球地址Advanced Energy不对错误或遗漏负责。

全球支持与服务

通过每个产品生命周期阶段,从启动到长期运行,通过每个产品生命周期阶段最大化Fab生产力和资本设备ROI。我们的服务产品基于三十多年的精密电力和应用专业知识。

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应用支持与咨询

加快工具安装和工艺开发计划,或与Advanced Energy的专业应用顾问和工程人员一起解决特定应用问题。从现场审查、分析和咨询中获益。188滚球地址

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保证

降低维护成本的可变性,并提供额外的成本保护。Advanced Energy提供全盒延长保修。188滚球地址

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