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顶峰加+

工艺成熟的脉冲直流磁控反应溅射薄膜

Pinnacle Plus+发电机以脉冲配置提供直流电源,从而实现反应溅射,形成极为均匀、高质量的介质膜。

  • 反向脉冲期间的电荷清除可防止电弧发展
  • 通过频率和占空比控制可调节过程
  • 紧凑的风冷设计,可在一次/二次配置中扩展
  • 概述
  • 技术规格
  • 文件
  • 服务与支持

概述

188滚球地址先进能源 顶点® Plus+电源为无功工艺提供脉冲直流解决方案的所有优点,采用易于集成的封装,提高工艺效率,降低成本,并提供卓越的灵活性和灵活性。与复杂而昂贵的交流电源解决方案相比,Pinnacle Plus+电源结合了标准直流技术和我们的专利脉冲直流技术,提供了更高的沉积速率、更可重复的性能和优异的薄膜质量。

利益

  • 更高的沉积和产率 
  • 卓越的薄膜均匀性和质量 
  • 减少由电弧引起的基板损坏 
  • 卓越的流程灵活性和灵活性 
  • 可重复性能 

特征

  • 可调频率范围为5至350 kHz 
  • 可变占空比高达45% 
  • 宽电压范围-单抽头宽阻抗范围 
  • 高级电弧控制  
  • 双输出可用于多室生产 
  • 权力

    单输出

    1.5千瓦光环(高精度,低输出),5千瓦(单输出和双输出型号),10千瓦

    双输出

    5/5千瓦,独立控制

  • 电压

    单个宽电压范围内高达800 VDC(无抽头)

  • 频率

    可从0 Hz(直流)调节至350 kHz

  • 重复性

    +/-额定功率的0.1%

  • 精确

    +/-设定点的1%或满额定功率的+/-0.2%(以较大者为准)

  • 通信接口

    模拟,RS-232/485,现场总线

  • 交流输入

    提供208、400和480 VAC型号

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都提供所有选件和附件。所列尺寸通常仅指标准配置和模块体。请与销售代表确认技术规格和定制。188滚球地址Advanced Energy不对错误或遗漏负责。

全球支持与服务

在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段,通过世界一流的支持,最大限度地提高工厂生产率和资本设备投资回报率。我们的服务产品基于三十多年的精密电源和应用专业知识。

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应用支持与咨询

加快工具安装和工艺开发计划,或与Advanced Energy的专业应用顾问和工程人员一起解决特定应用问题。从现场审查、分析和咨询中获益。188滚球地址

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保证书

降低维护成本的可变性,并提供额外的成本保护。Advanced Energy提供全盒延长保修。188滚球地址

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