188.博金宝

上升AP系列

前所未有的单磁控溅射和双磁控溅射功率控制

使用经现场验证的双极性直流脉冲技术,实现工艺性能的新水平。

  • 先进的波形控制允许过程微调
  • 可用于双脉冲和单脉冲磁控溅射应用
  • 紧凑的设计结合了直流和脉冲
  • 概述
  • 技术规格
  • 文件
  • 服务与支持

概述

上升®AP电源在单磁控和双磁控溅射的紧凑解决方案中提供了前所未有的等离子体控制。Advanced Energy的专利脉冲技术可实现显著的电弧防护、更高的功率水平和更高的吞吐量。Ascent AP全面的控制参数和广泛的操作范围解锁材料选项,以扩展工艺灵活性和材料创新188滚球地址。

利益

  • 介电和导电薄膜的精密溅射
  • 扩展过程控制和灵活性
  • 高胶片质量和吞吐量
  • 可重复、可定制的电影
  • 更高的功率水平,减少电弧损伤
  • 易于集成和控制

特征

  • 具有广泛电源传输参数的流程定制
  • 通过分层方法实现arc缓解的高级流程管理
  • 紧凑型单机组解决方案(高达30千瓦)
  • 设定点补偿™ 稳定吞吐量技术
  • 广泛的操作范围,使各种工艺材料
  • 权力

    上行短信

    30千瓦(15千瓦)

    上升DMS

    30千瓦(15千瓦)

  • 电压

    上行短信

    1000伏直流电

    上升DMS

    1000伏直流电

  • 峰值电流

    上行短信

    100安(50安)

    上升DMS

    不适用

  • 平均电流

    上行短信

    75 A(38 A)

    上升DMS

    80 A(40 A)

  • 频率

    上行短信

    0.5至150 kHz

    上升DMS

    0.5至150 kHz

  • 反转时间(最大值)

    上行短信

    15微秒

    上升DMS

    不适用

  • 占空比

    上行短信

    >60%准时

    上升DMS

    5%至95%

  • 反向电压

    上行短信

    最大300伏直流电

    上升DMS

    不适用

  • 脉冲配置

    上行短信

    单极

    上升DMS

    双极的

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都提供所有选件和附件。所列尺寸通常仅指标准配置和模块体。请与销售代表确认技术规格和定制。188滚球地址Advanced Energy不对错误或遗漏负责。

全球支持与服务

在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段,通过世界一流的支持,最大限度地提高工厂生产率和资本设备投资回报率。我们的服务产品基于三十多年的精密电源和应用专业知识。

了解更多

应用支持与咨询

加快工具安装和工艺开发计划,或与Advanced Energy的专业应用顾问和工程人员一起解决特定应用问题。从现场审查、分析和咨询中获益。188滚球地址

了解更多

保证书

降低维护成本的可变性,并提供额外的成本保护。Advanced Energy提供全盒延长保修。188滚球地址

了解更多

产品支持

呼叫
美国:+1 800 446 9167
亚洲:+86 29 8874 1895
中国:400 8899 130
欧洲、中东和非洲:+44 800 032 1546
英国:08000 321 546


电子邮件
薄膜支架
热产品支持
其他技术支持

联系我们

非常感谢。

您现在可以查看Advanced Energy网站上的任何资源。单击下面的按188滚球地址钮查看您请求的资源。

非常感谢。

您现在可以查看Advanced Energy网站上的任何资源。单击下面的按188滚球地址钮查看您请求的资源。

Baidu