脉冲直流系统

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提高沉积速率并改善薄膜平整度

通过Advanced Energy的综合脉冲直流套件扩展工艺创188滚球地址新。减少电弧,提高沉积速率,改善薄膜平整度和堆积密度。

脉冲直流优势
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