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PEII系列

用于40 kHz反应溅射应用的增强电弧控制和内部负载匹配的低频系列

PEII系列电源是双磁控溅射的可靠标准,是一种有效的真空清洁工具,适用于多种PECVD应用。

  • 可靠的水冷设计
  • 在功率、电压或电流方面提供严格的输出调节,测量精度为1%
  • 与可编程逻辑控制器(PLC)兼容
  • 概述
  • 技术规格
  • 文件
  • 服务与支持

概述

低频PEII系列提供40 kHz脉冲宽度调制(PWM)。它具有先进的电弧控制和内部负载匹配功能,当单元组合时,输出功率高达60 kW,无需外部硬件,如变压器或调谐器。电源还提供两个不同的电弧处理电路,浮动输出可在任意一侧接地。PEII电源为水冷式,符合CE标准,并包括许多可选配件。

利益

  • 经过验证的可靠性使得能够最大限度地利用
  • 精确的功率、电压或电流 章程
  • 最大的灵活性和模块化 
  • 增强电弧控制 
  • 宽自来水范围

特征

  • 5和10千瓦选件(一次/二次功率高达60千瓦)
  • 内部负载匹配(10:1阻抗范围)
  • 两种不同的电弧处理电路
  • 高效、紧凑、水冷式设计
  • CE兼容
  • 与Advanced Energy188滚球地址的LMII 10K匹配网络兼容,允许更高电压运行
  • 权力

    5和10 kW型号(一次/二次功率更高)

  • 输出频率

    40千赫

  • 电压范围

    通过七个可选择的水龙头300至950 V

  • 弧管理

    电压和电流检测

  • 冷却

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都提供所有选件和附件。所列尺寸通常仅指标准配置和模块体。请与销售代表确认技术规格和定制。188滚球地址Advanced Energy不对错误或遗漏负责。

全球支持与服务

通过每个产品生命周期阶段,从启动到长期运行,通过每个产品生命周期阶段最大化Fab生产力和资本设备ROI。我们的服务产品基于三十多年的精密电力和应用专业知识。

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