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上升MS
太阳能光伏制造中多腔功率输送的多输出电源系统
Ascent MS支持在单个单元中多达五个独立的PERC PECVD沉积过程室。这优化了功率输送,实现了独立编程,简化了沉积机设计,帮助您降低资本成本,提高可靠性。
- 每五个PERC PECVD室配备一个电源系统
- 每个腔室的独立工艺参数
- 简化的机器基础结构,实现更低的成本和更高的可靠性
- 概述
- 技术规格
- 服务与支持
概述
上升®MS是一种多输出电源系统,设计用于支持光伏太阳能电池生产中的PERC PECVD工艺。Ascent MS在一个单元中支持多达五个独立腔室,使太阳能光伏设备制造商能够开发成本效益高的系统。与其他类似解决方案相比,电气和机械基础设施需求更少。通过快速连接电源I/O和最小化互连,电源系统优化了电源传输,同时实现了更快的涂布机安装、更高的可靠性和更低的每台涂布机成本。Ascent MS专为满足当今太阳能光伏市场的需求而设计,可实现行业内最低的系统和基础设施成本。
利益
- 快速轨道涂布机安装与模块化电源连接器,减少互连,简化基础设施
- 开发经济高效的系统,减少对电气和机械基础设施的要求
- 在PERC PECVD沉积工艺中实现更高的可靠性
- 简化沉积机设计,单个单元最多支持五个独立腔室
特征
- 单点通信、水、I/O和交流电源输入,最多可用于五个腔室
- 每个输出的独立开/关时间、电弧参数和设定点
- 每个电源系统最多五个输出
- 单独启用的输出
- 模块化电源连接器
解决方案
权力
上升MS15:15千瓦
提升MS20:20千瓦
上升MS30:30千瓦输出
2到5
输出频率
40千赫
功率脉冲时间
吨:1至10毫秒
飞行时间:50 ~ 1000毫秒功率脉冲占空比
高达10%
表达
Profibus, RS-232, Ethernet, EtherCAT
冷却
水/空气
系统高度
12U
全球支持与服务
在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段,提供世界级的支持,最大限度地提高工厂生产力和资本设备投资回报率。我们的服务是基于超过30年的精密电源和应用专业知识。
应用支持与咨询
加快工具安装和工艺开发计划,或与Advanced Energy的专业应用顾问和工程人员一起解决特定应用问题。从现场审查、分析和咨询中获益。188滚球地址
保证
降低维护成本的可变性,并提供额外的成本保护。Advanced Energy提供全盒延长保修。188滚球地址