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上升 DMS

高级双磁控溅射配件

针对任何双磁控溅射应用的经现场验证的解决方案,具有促进先进工艺创新的附加功能。

  • 通过先进的电弧管理,以更稳定的工艺实现更高的沉积速率
  • 使用可变频率和占空比调整流程
  • 定制您的系统需求:30、40和60千瓦单位可配置高达180千瓦
  • 概述
  • 技术规格
  • 文件
  • 服务与支持

概述

上升® DMS系列为双磁控溅射提供了前所未有的功率传输便利和控制,实现了薄膜特性的精确调节。凭借可选择的频率、调节模式和占空比,以及低存储能量和简化的模块化系统配置,Ascent DMS附件作为真正的下一代技术而独树一帜。它经济高效、可扩展且用途广泛,可最小化复杂性、提高质量并提高吞吐量,从而实现高级流程创新。

Ascent DMS MF-120封装为标准阴极提供性价比高的中频电源,同时提供双极脉冲技术优势。

利益

  • 增加的胶片价值:可重复、可定制的沉积胶片
  • 更低的拥有成本和提高生产力
  • 更高的功率水平,提高稳定性和减少电弧损伤
  • 易于扩展、集成和支持
  • 模块化设计允许您只支付所需费用,同时支持未来的功能扩展

特征

  • 模块化和可扩展(40、60和120千瓦机型可配置高达180千瓦)
  • 可选频率(500 Hz至50 kHz)
  • 可调占空比-每个磁控管的独立功率比调节
  • 通过分层方法进行先进的流程管理,以减少电弧
  • CEX(相位同步)
  • 输入功率

    上升DMS 40,60千瓦

    85至264伏交流电压,单

    上升DMS 120千瓦

    85至264伏交流电压,单

  • 输出电压

    上升DMS 40,60千瓦

    高达1000伏

    上升DMS 120千瓦

    高达1000伏

  • 输出电流

    上升DMS 40,60千瓦

    高达150 A

    上升DMS 120千瓦

    高达400a (rms)

  • 重量

    上升DMS 40,60千瓦

    约61.5千克(136磅)

    上升DMS 120千瓦

    约100公斤(220磅)

  • 安装

    上升DMS 40,60千瓦

    4.26厘米(19英寸),可机架安装,6U高

    上升DMS 120千瓦

    4.26厘米(19英寸),可机架安装,10U高

  • 冷却空气温度

    上升DMS 40,60千瓦

    最高40摄氏度(104华氏度)

    上升DMS 120千瓦

    不适用

  • 冷却水温度

    上升DMS 40,60千瓦

    最高35摄氏度(95华氏度)

    上升DMS 120千瓦

    最高40摄氏度(104华氏度)

  • 顺从

    上升DMS 40,60千瓦

    欧盟RoHS、CE、NRTL、SEMI S2、SEMI F47

    上升DMS 120千瓦

    欧盟RoHS、CE、NRTL、SEMI S2、SEMI F47

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有的选件和附件都适用于所有型号和配置。所列尺寸通常仅指标准配置和模块体。请与销售代表确认技术规格和定制。188滚球地址Advanced Energy不对错误或遗漏负责。

全球支持与服务

在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段,提供世界级的支持,最大限度地提高工厂生产力和资本设备投资回报率。我们的服务是基于超过30年的精密电源和应用专业知识。

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应用支持与咨询

加快工具安装和工艺开发计划,或与Advanced Energy的专业应用顾问和工程人员一起解决特定应用问题。从现场审查、分析和咨询中获益。188滚球地址

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保证

降低维护成本的可变性,并提供额外的成本保护。Advanced Energy提供全盒延长保修。188滚球地址

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