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直流和脉冲直流Solvix

最好的直流和脉冲直流供电统一

一个强大的,协调的精密动力套件TM专为先进、高科技涂料而设计的产品。

  • 易于操作和配置模块化直流和脉冲直流解决方案
  • 行业领先的可靠性,同时驱动等离子过程的极端动态
  • 通过行业领先的功率调节和电弧管理,提高了薄膜质量
  • 概述
  • 技术规格
  • 文档
  • 服务与支持

概述

Solvix® 用于溅射应用的直流和脉冲直流电源提供了精确的精度和经过验证的可重复性,这要感谢在该领域超过十年的经验。Solvix电源具有广泛的功率和频率级别、脉冲和多种通信选项,为您独特的工艺提供了坚固的和经济有效的解决方案。

好处

  • 经过验证的可靠性、准确性和重复性
  • 减少基材损坏和工艺污染
  • 适应范围广泛的工艺要求
  • 高效的安装和服务
  • 在全球范围内支持网络

特性

  • 直流和脉冲直流单元
  • 突出的弧形处理
  • 电流、功率和电压调节模式
  • 空气和水冷却
  • 多个单元可配置为不同的高功率要求
  • 权力

    直流

    3、10、15、30千瓦

    脉冲直流

    3至30千瓦

  • 频率

    偏见的单位

    高达350 kHz

  • 其他

    冷却

    空气(在一些更高功率的机型上可用水冷却)

    沟通

    模拟(RS-232/485和Profibus可用)

规格如有更改,恕不另行通知。并不是所有的选项和配件都可用于所有型号和配置。所列尺寸一般只参考标准配置和模块主体。请与销售代表确认技术规格和定制。188滚球地址先进能源不负责错误或遗漏。

全球支持与服务

在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段,提供世界级的支持,最大限度地提高工厂生产力和资本设备投资回报率。我们的服务是基于超过30年的精密电源和应用专业知识。

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应用支持与咨询

加速工具安装和工艺开发计划,或与先进能源的专门应用顾问和工程人员解决特定应用问题。188滚球地址从现场审查、分析和咨询中获益。

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保证

降低维护成本的可变性,并提供额外的成本保护。188滚球地址Advanced Energy提供全箱延长保修期。

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产品支持

调用
美国:+1 800 446 9167
亚洲:+86 29 8874 1895
中国:400 8899 130
EMEA:+44 800 032 1546
英国:08000 321 546


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