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上升AMS系列

为极端电弧条件和高重复性胶片提供稳定的电源

188滚球地址Advanced Energy的前端直流发电机提供双磁控溅射应用所需的性能和可靠性。

  • arc是主动管理的,而不是一般的预设arc响应
    • 每1千瓦输出能量小于0.4兆焦耳
    • 通过电弧条件的稳定、可重复的过程
  • 用于大功率应用的主/辅
  • 更高的能量等级,减少电弧伤害
  • 概述
  • 技术规格
  • 文件
  • 服务与支持

概述

随着制造技术的进步,新材料和阴极设计对工艺稳定性和薄膜重复性提出了更大的挑战。上升®AMS电源提供稳定的,可重复的电源,无论工艺材料或阴极设计。AMS提供先进的电弧管理,允许最大的功率交付和更快的恢复处理。极快的恢复也意味着极低的能量通过电弧传递,防止基片损坏。

对于高功率应用,Ascent AMS可用于主/次配置。常见的应用包括超过100千瓦的输出配置。然而,结合水/空气冷却设计保持发电机的足迹到最小。

利益

  • 获得高的薄膜质量和产量
  • 减少薄膜、基板和设备损坏
  • 在极端电弧条件下实现稳定的吞吐量和功率输送
  • 易于集成和控制

特征

  • 电弧管理系统™ (AMS)技术.金属和陶瓷靶的客户预设
  • 设定点补偿™ 技术
  • 电弧同步®技术-一级/二级多达12台
  • 以太网,EtherCAT®,DeviceNet®、Profibus、RS-232/485、以太网/IP和模拟通信
  • 交流输入电压

    400,440和480vac

  • 输出功率

    • 30、40和60千瓦
    • 主/辅助配置可用于更高功率
  • 点火电压

    800 ~ 1200v

  • 输出电压

    30千瓦

    300至1000 VDC

    40千瓦

    333至1000 VDC

    60千瓦(120)

    500至1000 VDC

    60千瓦(150安)

    400至800 VDC

  • 可用I/O

    以太网,EtherCAT®,DeviceNet®、Profibus、RS-232/485、以太网/IP和模拟通信

  • 安装

    48.26厘米(19英寸),可机架安装,6U高

  • 冷却

    气水结合

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都提供所有选件和附件。所列尺寸通常仅指标准配置和模块体。请与销售代表确认技术规格和定制。188滚球地址Advanced Energy不对错误或遗漏负责。

全球支持与服务

在从启动到长期运营的每个产品生命周期阶段,提供世界级的支持,最大限度地提高工厂生产力和资本设备投资回报率。我们的服务是基于超过30年的精密电源和应用专业知识。

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应用支持与咨询

加快工具安装和工艺开发计划,或与Advanced Energy的专业应用顾问和工程人员一起解决特定应用问题。从现场审查、分析和咨询中获益。188滚球地址

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保证

降低维护成本的可变性,并提供额外的成本保护。Advanced Energy提供全盒延长保修。188滚球地址

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